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日本三豐Surftest表面粗糙度測量儀小知識
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JIS B 0632:2001 (ISO 11526:1996) 產品幾何技術規范(GPS)-表面形狀:輪廓法–位相補償濾波器的特征
JIS B 0633:2001 (ISO 4288:1996) 產品幾何技術規范(GPS)-表面形狀:輪廓法–表面紋理的評價的規則和程序
JIS B 0651:2001 (ISO 3274:1996) 產品幾何技術規范(GPS)-表面形狀:輪廓法–接觸(測針式)測量儀的標稱特性。
接觸式表面粗糙度測量儀的特征 JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)
三豐粗糙度儀測量原理示意圖:
測針形狀
理想的測針形狀是圓錐型,為球形
半徑:rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm
圓錐角度:60º, 90º
在理想表面粗糙度測量中,除特別規定以外,每個圓
錐角的角度都是 60º
靜態測量力
測針平均位置的測力:0.75mN
測力的標稱變化率:0N/m
標準特性值:測針平均值的靜態測力
測針曲率 標稱半徑μm | 測針在平均位置 的靜態測量力 mN | 靜態測量力變化的 公差率 mN /μm |
2 | 0.75 | 0.035 |
5 | 0.75 (4.0)注1 | 0.2 |
10 |
注1 對于特殊結構探測器 (包括一個可更換測頭),在平均位置靜態測量力的大值為 4.0mN。
截止波長值與測針半徑之間的關系
如下表所列,測針半徑rtip 的標準值與對應于截止波長
標準值的粗糙度截止波長比率之間的關系
λc (mm) | λs (μm) | λc/λs | 大rtip (μm) | 大取樣間隔 (μm) |
0.08 | 2.5 | 30 | 2 | 0.5 |
0.25 | 2.5 | 100 | 2 | 0.5 |
0.8 | 2.5 | 300 | 2注1 | 0.5 |
2.5 | 8 | 300 | 5注2 | 1.5 |
8 | 25 | 300 | 10注2 | 5 |
注1: 對于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面,通常可以使用rtip=5μm的測針,
在測量結果中沒有明顯差別。
注2: 當截止波長λs為2.5μm或8μm時,與推薦測針針尖半徑的測針(觸針)機械濾波所產生的衰減特性將位于定義的傳輸帶之外。因此,測針的半徑或者形狀上的微小誤差不會影響到測量中參數的計算。如果需要特殊的截止波長比率,須。